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坩埚升降机构:坩埚升降机构的垂直运动采用双导柱直线轴承结构。稀土永磁直流电机集团是由齿轮皮带和波减速器驱动滚珠丝杆副来完成,这样的安排坩埚杆,双导柱和滚动螺旋是合理,传动部位的刚度好,传输稳定、准确。退火炉坩埚旋转电机也采用稀土永磁直流电机组。坩埚旋转采用多楔带传动,传动扭矩大,减少齿形带的振动,提高传动稳定性。旋转密封采用磁性流体密封,垂直运动密封采用不锈钢波纹管。光电编码器与坩埚升降螺杆同轴安装,准确显示坩埚位置。
起种机构:起种机构设有柔性轴起种机构,可水平移动。稀土永磁直流电动机通过大减速比的精密减速机驱动滚动花键副,实现了软轴提升机的水平随动和旋转提升运动。设置螺旋轮水平随动限位功能,调整起种范围,限位保护起晶机构限位。整个提升机构采用空心轴旋转,对机构进行平衡调整,避免提升机构移动时产生振动。精密光电编码器与升降轮同轴安装,为计算机提供上升值并实现控制。旋转电机由多楔带旋转,旋转密封采用磁性流体 密封。优化后的刷组件安装在籽晶旋转轴承的外侧,便于安装调试。该新型电刷座具有弹性补偿功能,可以证明信号的传输。
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